中国光刻机行业主要上市公司：芯源微(688037)、华特气体(688268)等。

本文核心数据：全球EUV光刻机销量、全球EUV光刻机销售额等

1、EUV光刻机于近十年间兴起

随着半导体技术的更新换代，光刻机也从最开始的g线(436nm)逐渐发展为近十年间兴起的EUV光刻机，从接触式向接近式，最后演变成步进式为主。EUV光刻机，又称极紫外线光刻机，是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响，其中，小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。

2、供应链庞杂、设备运输耗时耗力

光刻机是技术壁垒极高的产品，而EUV光刻机制造更是“难上加难”，不仅体现在技术设计方面，还在于零部件供应，一台顶尖的EUV光刻机包含了10万多个零部件，全球供应商超过5000家，从光刻机的结构分析来看，美国光源占27%，荷兰腔体和英国真空占32%，日本材料占27%，德国光学系统占14%。因此，仅从零部件供应来说，光刻机涵盖的产业链就十分庞大。

同时，从运输成本上来说，EUV光刻机体积十分庞大，一台顶级的EUV光刻机重大180吨，需要40个集装箱来运输，仅安装调试的时间就需要一年左右。

3、EUV光刻机单台价值高达1.5亿欧元

由于EUV光刻机的高技术壁垒，也造就了其高价值特征。当前，全球仅有荷兰的ASML公司有能力生产EUV光刻机。

根据该公司的EUV光刻机售价显示，2018年以来，该公司的EUV光刻机价格也不断上扬，2021年7月4日，约为1.54亿欧元/台，折合人民币11.7亿元(以1欧元兑7.6元人民币换算)。

4、从巨头“ASML”窥探全球EUV光刻机市场

——ASML垄断全球EUV光刻机市场

当前，全球仅有荷兰-ASML公司可生产EUV光刻机，该公司于1997年加入了有英特尔和美国能源部牵头组建的EUVLLC前沿技术组织，享受EUVLLC的研究成果大大加快了ASML的EUV研发速度;2010年，公司向一家亚洲芯片制造商的研究机构运送了第一台极紫外(EUV)光刻工具原型(NXE：3100)，标志着光刻新时代的开始;2020年，公司的EUV光刻机进入大批量生产，也为全球唯一一家能量产EUV光刻机的公司。

——EUV光刻机销量迅猛增长，2020年达31台

从ASML-EUV光刻机的销售情况来看，2015-2020年，EUV光刻机销量由1台提升至31台，销售额也从0.7亿欧元增长至44.64亿欧元，呈高速增长态势。2021年上半年，据公司公布的二季度业绩信息显示，公司已销售了16台EUV光刻机，总价值达24.56亿欧元。

从不同光刻机的销售比重来看，2020年，EUV光刻机的销售额占比达43%，已成为公司第一大销售产品。

——EUV光刻机主要销往亚太地区、台积电成最大买家

从公司营收的区域分布情况来看，2018-2020年，公司在中国台湾地区的销售份额总体提升，在韩国的销售份额有所下降，在中国大陆的销售份额维持在15%左右。可以看出，ASML的光刻机主要销往了亚洲地区：

具体从EUV光刻机的购买商情况来看，2018-2020年，台积电购买的EUV光刻机最多，合计达41台，其次是三星、英特尔。而在中国市场，暂未有1台EUV光刻机购入，而中国在2018年的时候就已经向荷兰ASML公司采购了光刻机，花费1.2亿美元并且等待了两年，但至今都还没有收到货。

——未来发展方向：从0.33向0.55推进

关于EUV光刻机未来的发展方向，当前ASML正在探寻从0.33向0.55推进，预计首批High-NA设备(0.55NA)将于2022年下半年交付。

以上数据参考前瞻产业研究院《中国光刻机行业市场前瞻与投资战略规划分析报告》，同时前瞻产业研究院还提供产业大数据、产业研究、产业链咨询、产业图谱、产业规划、园区规划、产业招商引资、IPO募投可研、招股说明书撰写等解决方案。

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