中国光刻机行业主要上市公司：芯源微(688037)、华特气体(688268)等。

本文核心数据：全球光刻机销量、全球光刻机市场格局等

1、光刻机是芯片制造、高端光刻胶研发的重要装备

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，也是光刻胶材料研发的重要设备，根据晶瑞电材的集成电路制造用高端光刻胶研发项目信息，设备及安装费占总投资额的69%，而光刻机就占设备及安装费的44%。

2、2020年全球光刻机销量同比增长16.7%，以中低端产品为主

目前，全球光刻机市场的集中度极高，前三大厂商的市场份额占比达90%以上。数据显示，2015-2020年，全球光刻机销售量总体增长，2020年达413台，同比增长16.7%。

光刻机随着光刻技术的更迭，已从最初的g-line，i-line历经KrF、ArF发展到了如今的EUV。2020年，全球光刻机销量仍以中低端产品(KrF、i-Line)为主，合计达264台，占比约65%;而在高端光刻机-EUV的销量为31台，占比约19%。

3、荷兰ASML公司占全球光刻机龙头地位

从TOP3企业的竞争格局来看，2020年，荷兰ASML公司占比62%，出货量达到258台，力压尼康和佳能：

同时，从销售额来看，由于当前仅有荷兰ASML公司销售高端光刻机-EUV(售价最高)，因此，ASML仍占据市场龙头地位，市场份额达91%。

以上数据参考前瞻产业研究院《中国光刻机行业市场前瞻与投资战略规划分析报告》，同时前瞻产业研究院还提供产业大数据、产业研究、产业链咨询、产业图谱、产业规划、园区规划、产业招商引资、IPO募投可研、招股说明书撰写等解决方案。

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