行业主要上市公司：北方华创(002371);中微公司(688012);拓荆科技(688072);盛美上海(688082);至纯科技(603690);芯源微(688037);华峰测控(688200);长川科技(300604);华海清科(688120);恒润股份(603985);京运通(601908);深科达(688328);闻泰科技(600745)等

本文核心数据：“十四五”规划、集成电路产业产值等。

1、中国半导体设备政策发展历程

政策扶持对于半导体设备行业发展推进的意义重大：“十二五”成为我国半导体设备业的重要转折期，平板显示、太阳能光伏等新应用领域的崛起，逐步推动半导体行业整体发展。2015年国家出台《中国制造2025》，提出要形成关键制造设备的供货能力;2017年《集成电路产业“十三五”发展规划建议》提出将关键设备和材料进入国际采购体系，基本建成技术先进、安全可靠的集成电路产业体系。2021年《“十四五”国家信息化规划》提出加快集成电路设计工具等特色工艺的突破，加强集成电路等关键前沿领域的战略研究布局和技术融通创新。

2、国家层面政策汇总及解读

——国家层面半导体设备政策汇总

集成电路政策红利为半导体设备保驾护航，半导体设备主要为下游集成电路提供良好的设备加工及制造环境，在集成电路政策的不断支持下，半导体设备产业的需求逐步加大。在税收优惠、产业支持、信息化发展等政策的鼓励下，半导体设备行业竞争力不断突破，国产化进程稳步推进。

——国家层面半导体设备发展规划

“十四五”规划从中国集成电路装备提出相关推动发展的方式以及措施，明确表明要发展包含集成电路装备与关键材料行业在内的新一代信息技术、新材料等战略性新兴产业并强化国家战略科技力量，发展相关集群的创新发展，政策积极性也将带动中国集成电路装备与关键材料行业的蓬勃发展，通过各种各样的支持性政策工具推动集成电路装备与关键材料行业国产化。

3、各省市层面的政策汇总及解读

——31省市城市半导体设备政策汇总

在地方产业政策的推动下，各地的汽车制造、机械加工、航空航天、船舶等领域有望大面积推广使用激光技术。下游应用领域的拓展将进一步促进我国半导体设备的健康持续发展。

——31省市城市半导体设备发展规划

从各省市的半导体设备发展规划来看，大部分省份对2025年集成电路产业有硬性的指标规划，例如北京力争到3000亿元，上海力争到1000亿元，成都力争到2000亿元，而深圳则以引进半导体设备企业为主。湖北规划2025年培育5家销售收入超10亿元的半导体设备与材料企业，陕西则规划做精半导体及集成电路产业链;黑龙江、长春等地加强布局半导体制造设备及配套能力。

更多本行业研究分析详见前瞻产业研究院《中国半导体设备行业市场需求前景与投资规划分析报告》，同时前瞻产业研究院还提供产业大数据、产业研究、政策研究、产业链咨询、产业图谱、产业规划、园区规划、产业招商引资、IPO募投可研、IPO业务与技术撰写、IPO工作底稿咨询等解决方案。

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